软件应用：IMOS
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子 | 纳米模式下的Z轴分辨率 | 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜) |
纳米表面轮廓仪
IMOS纳米表面轮廓仪实现(xian)了精(jing)确、定量(liang)、iso兼容、非接触式表(biao)面(mian)测量(liang)和(he)表(biao)征微和(he)纳米尺度的表(biao)面(mian)特征，在短短几(ji)秒钟内可捕获多达200万个(ge)数据点(dian)。选择正确的光学轮(lun)廓仪系统取决(jue)于您的应用程序(xu)的要求，包(bao)括速度、精(jing)度、垂(chui)直范围、自动化和(he)灵活性。
IMOS光纤激光切割机的玻璃外层外部外部外部轮廓仪在非碰触式光纤激光切割机的玻璃外层外部外部外部轮廓地方出示了整体实力强大的专用性。产生了该程序的，它能够便捷便捷地检测各类外层分类，收录滑腻、很糙、沟壑、倾斜角和阶梯式。全部的检测也都是无损格式的，迅速的的，不都要异常的样本工作。奈米外层外部外部外部轮廓仪程序的的管理处是地方相干光干涉仪水平，它出示亚奈米精确度检测更广的外层比许多工业该用水平。IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值，如平直，粗糙度，波浪形，台阶高度等等。
IMOS 纳米表面(mian)轮(lun)廓仪配备了一个变(bian)焦头，可以填充离(li)散(san)变(bian)焦光(guang)学定制的系统。样本分段配置范围从*自动化(hua)到(dao)*自动化(hua)的编码(ma)行程(cheng)。
纳米表面轮廓仪关键优缺点:
- 微米状态下的Z轴辩别率: ~ 30pm微起伏不定状态(在使用氧原子级平滑细腻镜) ~ 0.3um微土壤类型模式英文下- 外观主体工程;- 快捷回应;- 抗冗余共振;- 检测的进程半机械化限度高;- 特俗的用户名舒适的界面显示;- 优质化量的设计用户界面，以任务与多计划书三维图像说明的測量数据;- 常见的能够性标准配置的高倍显微镜，以各式各样要素-思维模式的測量外壁;- 也可以运行在两大类模式切换:微浅浮雕制作和奈米浅浮雕制作;- *的内存系统软件软件和在测量报告单的系统软件软件化。 在硅基钢板上的Pd保护膜，宽度100nm硅纳米线外面的阶地，宽度为0.314nm在硅基钢板上的Pd保护膜，宽度100nm 微曲折形式下的在测量結果硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm
认证口(kou)径，标称高(gao)度值为101nm±3%
IMOS纳米表面轮廓仪组成
光电探测器*
矩形(xing)ccd-1392*1040 px
光源 *
LED (λeff = 630 nm)
显微物镜*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不变
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器
CCD-相机抓帧器
位移台控制器
设备控(kong)制器
软件
Software for working with IMOS
System / MS Windows
微地貌模式下的测量结果
认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm
衍射元件, 厚 3,7 μm
衍射元件, 厚 3,7 μm
技术指标
测量区域
0,4x0,3 mm2 (for 20X)
像素尺寸
0,3 μm (for 20X)
横向分辨率
Not worse 1 μm
测量模式
微地貌模式
微起伏模式
Z轴分辨率
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
测量范围
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm
测量速度
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s
上海市徐汇区虹梅路2007号6号楼3楼
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