企业产品款型：
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 生物产业,电子 | 测量模式 | 机械性能测量 |
NIOS纳米机械测试/原位纳米压痕仪
NIOS纳米机械测试/原位纳米压痕仪是实(shi)现(xian)超过(guo)30种不同(tong)的测量(liang)技(ji)术的全能系统，涵盖了(le)亚微(wei)米和(he)纳(na)米尺度(du)所有类(lei)型的物理和(he)机械(xie)性(xing)能测量(liang)。通过(guo)NIOS压痕仪控制软件(jian)，可(ke)以实(shi)现(xian)高度(du)自动化(hua)的测量(liang)，允(yun)许终端用户配置(zhi)任何测量(liang)方案，无需(xu)操作(zuo)员干预(yu)即可(ke)执(zhi)行。这一特性(xing)对于材料质量(liang)的技(ji)术控制特别有用。有了(le)这个(ge)新增的功(gong)能，NIOS既可(ke)以用于研究工作(zuo)，也可(ke)以用于工业应用。
NIOS编納米技术机测评/納米技术折皱仪的模块电源图片化的设计充许终端设备用户的可根据本人的需要性能納米技术机测评机。NIOS納米技术机测评机的性能可包含下模块电源图片: 宽在线测量范围納米技术折皱仪；光学反应电子显微镜观察；电子层力电子显微镜观察；扫描器納米技术机测评仪；电形态在线测量；侧向力感测器器；原位形貌成相；热处理加热台等。衡量(liang)模(mo)试和(he)衡量(liang)的方(fang)式：
1.自动化设备效(xiao)果精确(que)测(ce)(ce)量(liang)：仪(yi)器压(ya)痕符合ISO 14577；维(wei)氏显(xian)微硬(ying)(ying)度(du)(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)；具有恒定(ding)或可变载荷的(de)硬(ying)(ying)度(du)(du)(du)测(ce)(ce)试(通过划痕测(ce)(ce)量(liang)硬(ying)(ying)度(du)(du)(du)；力光(guang)谱学；机械化学纳米；梁(liang)和膜的(de)刚度(du)(du)(du)测(ce)(ce)量(liang)；硬(ying)(ying)度(du)(du)(du)和弹性(xing)模量(liang)对压(ya)痕深度(du)(du)(du)的(de)依赖(lai)性(xing)；自动测(ce)(ce)绘的(de)二维(wei)和三(san)维(wei)硬(ying)(ying)度(du)(du)(du)和弹性(xing)模量(liang)分布在面积为50x50mm的(de)表面；通过划痕试验(yan)确(que)定(ding)附着力；测(ce)(ce)量(liang)液体
2.纳米级摩擦力測量：载(zai)荷作用下的(de)循环表面(mian)磨损(sun)；在研究表面(mian)上进行润滑脂(zhi)的(de)纳米摩擦学试验
3.光学元件显(xian)微检测(ce)的(de)：纳米力学测(ce)试领域的(de)选择；对(dui)象尺寸测(ce)量和高精度定位
4.原(yuan)位阅读策(ce)略：用控制负(fu)载或压痕深度测(ce)量(liang)电(dian)(dian)流-电(dian)(dian)压特(te)性；纳米(mi)力(li)学测(ce)试中(zhong)的电(dian)(dian)流扩展测(ce)量(liang)
5.原子结构力(li)(li)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)测定：接触原子力(li)(li)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(AFM)；振动(半(ban)接触)原子力(li)(li)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(VAFM)；扫描隧道显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(STM)；高磁场显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(M-AFM)；电(dian)导率和电(dian)势(shi)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(E-AFM)；力(li)(li)调制(FM-AFM)；横向力(li)(li)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(LF-AFM)；粘滞力(li)(li)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(V-AFM)；粘附原子力(li)(li)显(xian)(xian)(xian)(xian)微(wei)镜(jing)(AD-AFM)；光刻技术(shu)模式(shi)(AFM-LIT)；根(gen)据(ju)残余(yu)压印测量硬(ying)度；对二维和三维地表起伏度图像(xiang)的粗糙度参(can)数进行了扩展计算
可侧(ce)量的(de)(de)的(de)(de)特点基本(ben)参(can)数：压印硬度(du)(显微硬度(du))；压痕(hen)硬度(du)(纳米硬度(du))；弹(dan)(dan)性(xing)(xing)模(mo)量(折算杨氏模(mo)量)；弹(dan)(dan)性(xing)(xing)恢复系(xi)数；附着力(li)(li)；涂膜厚度(du)；机械性(xing)(xing)能(neng)的(de)(de)映(ying)射；机械性(xing)(xing)能(neng)与深(shen)度(du)；力(li)(li)学性(xing)(xing)能(neng)vs三坐标(层析成(cheng)像(xiang))；微结(jie)构刚度(du)和(he)位移；断(duan)裂阻(zu)力(li)(li)；耐用性(xing)(xing)；线性(xing)(xing)磨损(sun)强度(du)；摩擦(ca)系(xi)数；刮伤(shang)时的(de)(de)侧(ce)向(xiang)力(li)(li)；表面形貌(mao)；粗糙度(du)参(can)数；原(yuan)位电(dian)压特性(xing)(xing)；电(dian)阻(zu)系(xi)数
操作方面：
涂(tu)料(liao)(liao)(liao)小(xiao)学科(ke)学，涂(tu)料(liao)(liao)(liao)理论研(yan)究(jiu)和(he)工作：纳(na)(na)米相与(yu)复合(he)(he)材料(liao)(liao)(liao)；超(chao)分散硬质(zhi)合(he)(he)金；新(xin)型(xing)硬、超(chao)硬材料(liao)(liao)(liao)；结构纳(na)(na)米材料(liao)(liao)(liao):合(he)(he)金，复合(he)(he)材料(liao)(liao)(liao)，陶(tao)瓷；薄膜(mo)和(he)涂(tu)层；碳纳(na)(na)米材料(liao)(liao)(liao)和(he)纤维
能源开发：用于核(he)能的纳米材料；涡轮叶片涂(tu)层(ceng)
仪(yi)器设(she)备工业：新型(xing)半(ban)导体材料；光(guang)学组(zu)件；微型(xing)和纳(na)米机(ji)电系(xi)统(MEMS和NEMS)；用于夜视(shi)设(she)备的微通道(dao)板；存储设(she)备(如硬盘驱动(dong)器)；纳(na)米光(guang)刻
医药学(xue)：牙(ya)科的(de)新材(cai)料；纳米材(cai)料植入物(wu)；生物(wu)活性涂层；支架
机(ji)(ji)(ji)动车、汽车制造出；空(kong)间区域学习和机(ji)(ji)(ji)械(xie)装备项目 ：新型(xing)结构和功(gong)能(neng)纳米材料；机(ji)(ji)(ji)械(xie)部(bu)件耐磨涂层；刀具涂层；硬质合(he)金(jin)刀具质量控制；金(jin)刚石(shi)及金(jin)刚石(shi)粉
测量：利用三轴(zhou)激(ji)光(guang)干涉术测量纳米尺度的线(xian)性尺寸
打(da)包：塑料制品的保护涂层(ceng)；玻璃(li)和金属装饰和功能涂层(ceng)
幼小衔接：纳米压痕和扫描探(tan)针显微镜实验室课程(cheng)及高级研究(jiu)
宽满量程nm凹印仪
扫描器微米机检查仪
原子团力体视显微镜
光电器件电子显微镜
1. 宽测量(liang)范围nm折皱接口
技艺数据显示：
压纹模块电源有4种基础事(shi)业模试:
2. 磁学显微检测的(de)组件(jian)
技能动态数据：
小数光学变焦到1500倍均匀的光学薄膜微距转变 :从0.58x到7x视场:从1.57 x2.09mm到0.13 x0.17mm上班时间:35厘米大数字USB摄像机3. 扫(sao)描拍照(zhao)纳米级机械化测(ce)试仪引(yin)擎
XY定位分辨率:2nm
Z轴测量范围不小于10um
Z轴分辨率:0.2 nm
zui大负载:100 mN
加(jia)载(zai)分辨率:0.5 mN
4.三轴外差(cha)激(ji)光手术干涉现(xian)象仪(yi)输出模(mo)块
的技术数据文件：
XYZ轴的检测的空间:500um三轴粪便率均不不低于0.01 nm在1hz到1khz的频宽内，干涉仪仪均方根的背景噪声能力不大于1nm轴位移精确测量的非正交性:0.01角度相(xiang)移(yi)范围:±1*104弧度
相位位移分辨率:10-4弧度(du)
用时測量辩别率:1 mszui大扫描软件传输率:100um/s本职工作部位的卡路里释放出不小于5W5.通透金刚石(shi)压头做为(wei)光学仪器目镜
性能向导：
第(di)2步：的框(kuang)架(jia)的尺寸(cun)
家用suvsuv型：200x300 mm （可安(an)装1个测量模(mo)块(kuai)）
的标准(zhun)型：450x400 mm（可安装(zhuang)2个测量模块）
增强学习型：550x450 mm （可安装3个测量模块）
第2步：测定功能
左一：宽量程纳米压痕仪(yi)
左二(er)：扫描纳米机械(xie)测试(shi)仪
左(zuo)三：原子力显微(wei)镜AFM
左四：光学显微镜
第三步：图纸台
第4步：扩张件
第5步：车配件(jian)举例它
NIOS性能表：
| 在线测量控制器 | 宽敞型 | 细则型 | 资料型 |
| 宽量程纳米压痕仪 | + | + | + |
| 光学显微镜 | - | + | + |
| 原子结构力高倍显微镜AFM | - | - | + |
| 扫描纳米机械测试模块 | + | + | + |
| wifi定位渠道 | 紧促型 | 的标准型 | 开展型 |
| 手动位移台 | 待选 | - | - |
| X轴电动位移台 | + | - | - |
| XY轴电动式位移台 | - | + | + |
| 電動缩放台 | - | - | 自选 |
| 拓展件 | 紧密型 | 标准规范型 | 增进型 |
| 侧向力传感器 | - | 可选 | 可选 |
| 加热台 | - | 可选 | 可以 |
| XYZ扫描台 | - | 可选 | 可选 |
| 电气性能 | - | 可选 | 可选 |
| 高负载选项 | 可选 | 可选 | 可选 |
额外(wai)增加模快(kuai)和传传感(gan)系统器
NIOS納米机械制造测试英文器有好多格外的标段和感应器器。这拓展了在线测量设计的的功能，合为买家的的需求提高了zui大能力的机械设备适合。检测的平台的zui终运行环境决定于于朋友的实验任何。为了让加工不不同寻常的论述级任务，有将开创新的机关企事业单位名称，修订当前机关企事业单位名称和感知器，并装在其他加工商的NIOS机关企事业单位名称。侧(ce)向力传還是器：在对抗强度侧(ce)量和(he)多重复损(sun)耗前一天的侧(ce)向力侧(ce)量；振(zhen)动学试(shi)验报(bao)告中振(zhen)动比率(lv)的侧(ce)量
原位扫描拍摄单元测试：金刚石压头表面形貌(mao)可视(shi)化的SPM模式
微波加(jia)热台：zui高温(wen)度:400℃；zui大加(jia)热速率:1℃/s；温(wen)度稳定:0.1℃；样品zui大尺寸(WxLxH): 25x25x10mm
电(dian)(dian)气成套性能指标(biao)测定模块电(dian)(dian)源：机械试验期间(jian)的电(dian)(dian)流(liu)(liu)-电(dian)(dian)压特性和电(dian)(dian)流(liu)(liu)扩散测量(liang)
检样台：虎头钳，车床夹具，支持力，真空环境(jing)吸盘
扭动台：力学性能各向异(yi)性研究；样品(pin)定位(wei)扩(kuo)展功能
洛氏硬度(du)计压(ya)头(tou)(tou):压(ya)头(tou)(tou)由掺(chan)杂(za)和高品(pin)质合(he)成的(de)单晶金(jin)刚石制成；Berkovich三棱(leng)锥(zhui)；Knoop四面椎 ；Vickers四面锥(zhui)；平面冲头(tou)(tou)，直径50um-2mm；具有给定半径的(de)球面顶端
对(dui)比产(chan)品(pin)(pin)的(de)样品(pin)(pin)：参考样品(pin)(pin)(RS)是由一(yi)种材料经(jing)过特(te)殊(shu)表(biao)面处理制成的(de)。参考样品(pin)(pin)用(yong)于校正NIOS装置，并经(jing)检验符合既定(ding)标准(zhun)。每个RS都有一(yi)个RS的(de)护照，其中包含标准(zhun)计量特(te)征、应用(yong)说明和运输和储存条(tiao)件(jian)。
pc聚(ju)碳(tan)酸(suan)酯对比样品管理(li):硬度(du):0.21±0.02 GPa；弹性模(mo)量(杨氏模(mo)量):3±0.3 GPa；粗糙度(du):<5 nm；尺(chi)寸:10x10x7 mm；表面处理(li):无
铝符合样机：硬度(du):0.5±0.1 GPa；弹性模量:70,0±7,0 GPa；粗(cu)糙度(du):< 5海里；尺寸:10 x10x8毫(hao)米；表面处理(li):抛光、电解蚀刻(ke)
熔(rong)融(rong)石英石根(gen)据供(gong)试品(pin)：硬度(du):9.5±1.0 GPa；弹性(xing)模量(liang):72.0±3.0 GPa；粗(cu)糙度(du):< 5海里；尺(chi)寸:7 x10x4毫米；表面处理:深磨-抛(pao)光
蓝月亮(liang)石基(ji)准(zhun)印刷品(pin)：硬度:24.5±2.5 GPa；弹(dan)性模量(liang):415.0±35.0 GPa；粗糙度:< 5海里；尺寸(cun):25×5毫米；表面处(chu)理:epi抛光
校正数据分析套件：
准空态检测设备压纹软件各种测试是NIOS配件的大体功能性。该java算法鉴于对压纹反力位移数据库的估测和解析。这方面高技术是亚太坚硬程度软件各种测试规定ISO 14577的前提。反力(P)与的深度(h)的非常典型实践的曲线其中包括初始化和卸载软件大部分。1. 多相村料论述
多相原料的性能探究有压头在的表面某一空间区域的精密位置，合理的独立部件。NIOS微米自动化测验机切合了打印测试探针电子显微镜和硬性计的功能表。该平衡装置可刷出多相打样定制的3d面上形貌数字影像，第二步采用与得到的到数字影像的接触测量方法方位。压头在测量方法时对应于表面层的精准定位定位精度在XY水平上约为10nm。举例：D16铝硬质合金。界面形貌:折皱前(a)，折皱后(b)，多种类别相的荷载-位移申请这类卡种曲线提额(c)。2.运动学稳定(ding)性(xing)层析图(tu)
根本机器设备波浪纹自测图片(ISO 14577)包涵个数据加载-重新安装配置，往往做出相应的于个深层次的光洁度和弹力模量。NIOS自测图片器都可以展开组成要素卸荷波浪纹(PUL):在外面上的给导航定位置，针尖穿透性性样品管理，组成要素返还并重新穿透性性更加深入。那样数次多个的侵彻方式，表明随深层次影响的流体力学能有将得到了剖面。准许沿长度剖面磁学特性(PUL或DMA)的测试测试需要与那部分覆盖面模本区域划分的网格共同布置房间，于是可挥发会沿以下三个轴(X、Y和Z)绘制图磁学特性。相应的的数据报告用以建设刚性模量和密度的断裂带图。层析图的zui大表层积可达到10 cm x 10 cm，zui大长度受打样定制特点约束，但不能够大过200 um。柔软性模量断裂带图(a)、密度断裂带图(b)。2.磁学(xue)性能方面层析图
差不多设备压纹公测(ISO 14577)涵盖同一数据加载-卸载软件循环法，那么如下代表于同一程度的洛氏硬度和弹力模量。NIOS公测器应该开始的地方卸荷压纹(PUL):在表面层上的给手机定位置，针尖击穿仿品，的地方请收藏本站并再度击穿很深。这一重叠重叠的侵彻过程中，不使随程度发生变化的测力性能方面有或许得见剖面。允许的沿层次剖面热学能力(PUL或DMA)的测评行与部份复盖样板行政区域的网格分着布置设计，所以无的机会沿4个轴(X、Y和Z)画制热学能力。相关联的数据统计用做营造弹力模量和光洁度的断块图。层析图的zui大面上积会达10 cm x 10 cm，zui大层次受试品性限定，但不会大于等于200 um。塑性模量断陷图(a)、对抗强度断陷图(b)。4. 划(hua)伤光洁度(du)测试(shi)英文(wen)
用刮花法校正坚硬程度代表着在印刷品外外表刮花并精确量测其大小。您可不可以运行各不相同之处的NIOS方案来精确量测这样值:光纤激光切割机的显微镜观察，AFM或扫描软件仪扫描软件nm物理测试仪器，扫描软件仪扫描软件外外表在SPM经济模式下，连在一起相同之处的测试探针加工刮花。与检测设备精确测定的压印凹痕测定相同，需求事前校正底下图型的特点。这个是采用测定刮痕的长宽b来实行的，在有差异 的(曾加的)电动机扭矩传到分类检样的接触面对其实行。针对于给定受力P，光洁度H与凹痕长宽b关系不大，由下式能知。人生理想的金字塔式尖需求单因子k对其实行校正。纵然刮花没法供给有观韧性模量的资料，但该的方式有其自个的益处。与设备压印法比起，刮花强度的测定法决定了推积作用，而而言薄而模糊的聚酰亚胺膜足见核心的是，它对模糊度的敏理性性较低。熔融石英(实线)和铝(虚线)残余物擦痕槽的载面剖面范例。上箭头说明在擦痕耐压时期压头和建材区间内的接觸绿地面积的大小。5.相(xiang)对来说(shuo)坚硬程度测试方(fang)法
| 材料 | P, mN, 常规负载 | Rscrxy,>% 磕碰高度的脆性断裂回(hui)复 | Rscrz,% 刮痕进一步的应力松弛恢复功能 | RNIz,% 压纹宽度的金属疲劳恢复如初 | Hscr, GPa 划痕硬度 | HNI, GPa 纳米压痕硬度 |
| 熔融石英 | 20 | 15 | 47 | 46 | Ref. | 10,1 |
| 玻璃 | 20 | 16 | 49 | 44 | 9,7 | 9,3 |
| Bi2Te5 | 7,6 | 13 | 23 | 30 | 2,6 | 2,8 |
| 镍 | 15 | 10 | 15 | 13 | 4,7 | 4,8 |
| 铝 | 1,7 | 1 | 3,2 | 4,2 | 0,5 | 0,6 |
6.用变荷重划痕修复可靠性试验(yan)校正原料和(he)保护(hu)膜的设备耐腐蚀(shi)性(强度、支承(cheng)力(li)、高度)
塑料复合膜被范围广适用各式各样對象的保证和耐磨效果涂膜。在不用衬底干扰的时候下，确切地在线精确预估许多塑料复合膜的测力效果是目前质量水平调整平台中的每一项至关重要任務。NIOS納米技术机制精确预估机不得用不一的形式在线精确预估不一强度的塑料复合膜抗拉强度。仪器设备毛边法是在线精确预估塑料复合膜力学和机制效果的可用形式。当然，有多少环境因素促使了这款在线精确预估形式的偏差。首要的是从外表低质度、稳定度物剪切力和也是的基本材料不确定性(对於膜-基本材料平台，材料的相应既密切相关于膜的效果，也密切相关于基本材料的效果)。在納米技术大尺度上，磨痕修复精确预估法(磨痕修复和磨痕修复边界分折)比毛边精确预估法有多少的优势。需要用SPM形式探究稳定度物磨痕修复，需要将毛边形式中典型示范的首要塑形扭曲的干扰减到zui低。可变气门正时剪力下的磨痕修复更加在是一个在线精确预估过程中 中设定多少塑料复合膜运作形成将:塑形相互间用板块、展开塑形扭曲的極限剪力(从外表有着隐约可见的印子)、塑料复合膜的溶合和逐层。在硅基钢板上的类金刚石膜表面层上对过载开展线型放缩的刮痕7.用心谱估测粘性模量
NIOS纳米技术力学结构自测仪就能在测量活力模量的酶联免疫法值。该形式所涉探测器感应器器随承载时振动式。振动波动小于等于10nm，的平率约为10khz。金刚石压头接触到外观时，的平率随承载的增长而增长。表明赫兹模式化的介绍详情，规律随感应器位移的斜率(将近-拉伸曲线拟合)与的材料的活力模量成比例。在检验之间，该系统设计在体现了知道可塑性模量的国家标准装修材料上进心行复位。所得的到的可塑性模量值以缩进曲线美斜率与考虑可塑性模量的数量来评估报告格式。那样的方法是无损格式的。直接参与测试软件的涂料层概率小到100nm。这会使在不被衬底导致的症状下在线估测薄膜和珍珠棉柔软性模量当上概率。按照对区别涂料的十分在线估测，遇到柔软性模量在相对较大比率内有着较高的控制精度。介于收宿拟合的曲线衡量措施(a);Δf拟合的曲线的斜率症状文件的的弹性模量(b)。8.抗刮性预估
镀层的高耐蚀性測試測試在NIOS系统中使用。測試測試远离是在给定压头运功的的基础上，坚持稳态的普通值动载荷，并记录好压头的普通值位移。可能资料破损，压头企业内部会改变。一段话时刻后压头会损坏镀层并来到材料，图甲如下的斜率变化无常如下。在的使用标淮半圆形针尖时，注意到压头错了称，压头按“正棱形形”文件目录有氧运动。使用有所差异面料的圆形压头时，就可以保证压头的循环往复有氧运动。锥体di-amond压头的“方通”实验室检测(a);曲面蓝红宝石压头磨损情况测式数据(b)。累加图文轴标签纸:横轴T表现时，以秒为企事业单位，纵轴Z表现均匀可穿透试板表面上。9.另(ling)外作图面形貌和力学(xue)结构能地(di)域分(fen)布
半相处外壁复印和准冗余运动学测验图片是NIOS复印納米机器测验图片机的二种核心选购。自动測量头(用到在自自激振荡电路原理中工做的压电式瓷质红外探头)仅仅也行直接自动測量外壁形貌，还也行定量分析其机器安全性能。这般的扣减数据信息，行纪录在随便外表面复印机扫描提拱很快的设备分析方法。在XY水平线上粪便率约为10nm，在z轴上粪便率约为1nm。组合碳纤材料。界面形貌(a);抗弯刚度影射(b)10.信息密度测定
在NIOS装备中做到了日常动态抗拉强度在线测量方式具体方法。该方式具体方法体系结构压头摆动旋转和之间健身运动的也治理。与准冗余纳米技术折皱法相比之下，该方式具体方法对表明滑度的引响较小。当然，它应该就粘性模量的信息。使用所选在线测量方式具体方法的工式方式:
硬钢化玻璃仟维在软基体(ti)中的(de)对(dui)抗强(qiang)度(du)图(tu)(a)和熔(rong)融石英晶体(ti)对(dui)抗强(qiang)度(du)与深层次(b)。在此哪几种现象下，应力松弛模量源头于其它源头。
11.表皮线条与机公测接(jie)口
扫(sao)描式纳米机械测(ce)试(shi)仪(yi)和宽量程压头模(mo)块可(ke)以实现表面轮廓的(de)测(ce)量。相(xiang)应的(de)zui大测(ce)量长度可(ke)达10mm和100mm。标准(zhun)压痕上(shang)(shang)端(Berkovich金字(zi)塔)的(de)zui大可(ke)测(ce)量斜率是(shi)10度，可(ke)选择(ze)的(de)上(shang)(shang)端。水(shui)平(ping)分辨率取决于所使用的(de)模(mo)块的(de)类型、扫(sao)描速度和水(shui)平(ping)方向上(shang)(shang)的(de)限(xian)制为10nm，垂(chui)直(zhi)方向上(shang)(shang)的(de)限(xian)制为10nm。所有剖面都是(shi)在半接触(chu)扫(sao)描模(mo)式下获得的(de)。
A套筒(A)和相对的圆柱体面局部(b)。12.自动化机械(xie)微米(mi)光刻
NIOS机戒设备为精密模具机戒微加工处理和nm蚀刻打造了印刷品几率。金刚石刀尖应该切开近乎任何给定文件。用在10 pN甄别率的切开进程中调整过载，应该增强地取得100nm高宽比和几nm厚度1的磕碰。zui大磕碰厚度1达到数毫米。通过使用(yong)高精度压电陶瓷纳米孔和机械线性平(ping)移级，金刚石顶端定(ding)位(wei)精度在(zai)100 x 100 pm区域(yu)达到(dao)10 nm，在(zai)100 x 100 mm区域(yu)达到(dao)约1 pm。
表面微处理的(de)结果可由(you)同一(yi)金刚石顶端(duan)通(tong)过SPM模式扫(sao)描或通(tong)过数字光学显微镜来控制(zhi)。
自动化自动化机械纳米级蚀刻玩法可以用在于在外面新建的规则成分，洗去防氧化膜，在圈定地方清洁卫生纳米涂层和調整光电材料为了满足电子时代发展的需求，和微自动化自动化机械设备(MEMS)器件的是多少呢样式。从金刚石柔性板上来除的黄金色涂覆(a);在熔融石英砂外层刻划的铭文;内容梗概系统文件(b)。13.微(wei)机械厂强(qiang)度(du)检测的
NIOS机械可以掌握的差异目标的强度:磨削方式、光柱、MEMS和NEMS光柱和膜。量值基于力-位移图换算，即与器材折皱分析一下中食用的曲线图是一样的。的差异的打开玩法是有机会的，还有多打开-御载玩法，这可以得见差不多强度值并且 肯定受损的嵌套循环危害。NIOS系统的允许的完成原位SPM预复印(复印nm机械化測試模快)或依靠光纤激光切割机的电子光学显微镜来决定測量座位，该光纤激光切割机的电子光学显微镜与宽分度值压头模快一起来工作中。数控刀应力预估(a)、膜属性预估情况报告(b)、加重新安装直线(c): 1 -膜屈曲(应力预估);2 -与基材接触性。14.表(biao)面层电的性能测试
掺(chan)杂硼的(de)(de)金刚石顶(ding)端(duan)(duan)可(ke)以进行电(dian)学性能(neng)分析:测(ce)量样品的(de)(de)电(dian)阻率，表(biao)面(mian)扫描(miao)或压痕期(qi)间的(de)(de)电(dian)流(liu)扩展。用(yong)给定的(de)(de)负载或穿透(tou)深度测(ce)量伏安(an)特性也是可(ke)能(neng)的(de)(de)。利用(yong)端(duan)(duan)部与试样之间的(de)(de)恒压偏压测(ce)量电(dian)流(liu)扩展图(tu)。通(tong)过测(ce)量不(bu)同表(biao)面(mian)位置(zhi)的(de)(de)电(dian)流(liu)扩散，可(ke)以确定具(ju)有不(bu)同导电(dian)性的(de)(de)位置(zhi)，并将(jiang)其与表(biao)面(mian)结构和夹杂物(wu)进行比(bi)较。
采用检测折痕的过程中感应工作电流感应工作电流量的扩散转移，会科学学习板材沿层次的非不均性，有效控制表层料厚，科学学习半导体设备在压力差下的相变。并且操作力和感应工作电流感应工作电流量与层次的关联性，会确定不同的电阻值率。在与板材交往时，用0.1 mN到100 mN的力实行伏安性能特点的检测。感应工作电流区间为±10V，感应工作电流感应工作电流量区间为±30mol / l，感应工作电流感应工作电流量检测判断率依赖于10pa。AlCuCo铝碳素钢的表面能组织化。电阻率图(a)。有所差异有颜色的地方各自着铝碳素钢的有所差异结晶体结构设计。网络显微镜观察图相(b)。15.裂开风阻精确测量(liang)
最长用作用临介指数公式抗压强度Kc -损伤韧度来决定涂料的抗脆损伤作用。损伤韧度是定量分析铝层耐腐蚀性的主要参数指标的一个。最长用的脆化论述具体方法是将压头推入涂料中对其进行弄坏，达到各个图片尺寸的裂纹。素材机架内压会通过刮擦来的定义。在类似这些事情下，Kc值与临界点裂痕横向相通。可达到此横向后，韧性形变变为为韧脆形变。通过app负荷值和内裂总长度计算出Kc的最简单的形式有30多种类。明确薄金属涂膜Kc的最简单的形式真正开展切实的深入分析。当折痕层次较H，折痕沿折痕的肋部造成径向或半便士的内裂，随着时间推移负荷的不断增加，金属涂膜从材料上掉落。热力管道内裂产生基体的严重破坏和转鼓内裂的金属涂膜进入基体。NIOS电子元器件有几样通过擦痕和器材折皱的薄铝层抗裂在测量的方式。16.在纳米技术(shu)大小上认可(ke)线(xian)形尺寸规(gui)格测(ce)试(shi)
SPMs的检定特点和微米枝术尺度大波形面积预估的检定搭载在枝术和实名认证责任的的设备并且 微米枝术食品的操纵均是更重要的。NIOS的涉及仪模块电源制定为1个精巧的插件操作式城市热力图预估器材。放射性物质源为单频稳固的He-Ne二氧化碳激光器(热效率1 mW，光波长632,991084 nm，在8时间作业时，光声音频率的对动摇固性不不低于3x10-9)。在PTB(谈起德国)主要包括SPM较准的直线衡量TGZ1、TGZ2、TGZ3展开计量检定功能质量检验。其它几个衡量导致都包涵在由PTB机械设备预估的95%置信之间内。所才能得到的导致證明所方案的配件是微米技术大尺度上的直线面积衡量标准，不可以经由复印机扫描检测器体视显微镜技巧支持系统微米技术的结构的直线面积衡量的可追述性。17.微观粒子东西的机戒检查
压头和样品管理的高精密等级充分固定以其运用有所不同立体几何形状图片的压头还可以保持NIOS专用设备中对微正方体的机制能力检测。特意地，一个测试用LBL的技术生产制造的聚电解设备质微冲剂的机制耐久性性的的方式，该的方式通过在有电基片上间断离心分离多阳阴硝酸根离子和多阴阴硝酸根离子。物品的显著特点内径都可以从几纳米到数百人纳米。物品的透彻怎么样形状图片大全是用光学元件体视显微镜认定的。尖咀通过金币平邮票，内径订好。冲剂摧毁引发后的载重由已登记证的载重-位移等值线认定。物理耐久性性由载重与冲剂内径的百分率来概念。在这种的方式比较广泛用于动物原料，色粉中选用的有机染料块和顆粒磨料磨具测试方法流程中。用高倍显微镜导航定位事物(a)，金刚石平压孔机的显微张片(b)，口服胶囊缩短时记录好的剪力与位移(c)。18.结构力学使用性能(neng)概述
会因为在不同的切线或区域划分开始一一连串在线测量的一键化，NIOS传动装置做到了机械性耐腐蚀性的镜像和剖面浅析做法。该技巧关于分析享有非平均力学结构稳定性的食品享有注重意议。列举，一新全部由一球芯和许多层分解成，许多层享有有差异 的物理攻击，板材厚度从微米换算到亳米不够。自动测量不错在室内和溶剂中对其进行。NIOS游戏容许自己估测，剖面和绘测氏硬度和的弹性模量生长在几十块μm到100分米的区城，某个的部骤直接的点。新全部中区别层的屬性| Parameter area | Core | Inner protective layer | Polyurethane layer | Inner ink layer | Outer ink layer |
| Thickness, um | - | 1100 | 800 | 12 | 15 |
| Hardness, MPa | 15 | 45 | 15 | 10 | 5 |
| Elastic modulus, MPa | 10 | 600 | 150 | 80 | 60 |
19.维氏显微密度(du)校(xiao)正
可根据ISO 6507原则，NIOSnm机器测评提拱了对的残留物缩进图案的显微抗拉强度衡量。经常用的显微抗拉强度计采取这类办法。四边维氏锥体当作压头(对边直接的维度为136度)。精确测量采取光学仪器微彩色图像。d—四方热转印工艺的适中粗度(mm)， P—zui大荷重(kgf)。维氏密度是一个种最常用的密度预估措施。这措施与相关纳米级密度预估措施的搭配准许会比较和的定义有差异 似然法的密度。热转印工艺以规范坚硬程度检测的。短路电流是200 g。坚硬程度为270 HV 0.2。20.物理的(de)性能(neng)随(sui)热度变动(dong)的(de)校正
带加热控制的加热台用于高温下材料力学性能的测量。加热阶段允许将样品加热到400℃，并进行NIOS中实现的所有类型的机械测试。保持给定温度的精确度为1℃。
测试(shi)结果(guo)包括在(zai)特定温度下的硬度、弹性(xing)模量、蠕变恢复、抗裂性(xing)、耐(nai)磨性(xing)和其他特性(xing)。
21.最新检测解析
NIOS确认动态化热学进行分析适配热学性的估测。该的方式将振动力加入的在平滑加强的载荷系数上，并加入的在的表面上，另外衡量相关联的同相图像和相位误差70度图像。收获的数据分析主要用作求算手机信号的实部和虚部，于是主要用作求算存储空间和损失黏性模量E '和E '。也求算了密度值。所帮助的平率区间相当于50hz，无剖析谐振可实行至250hz。熔融石英石(a)韧性模量E'和财产损失模量E"的测定乳化沥青(b)20.厂家稳定性随平均(jun)温度波动的(de)检测
带加热控制的加热台用于高温下材料力学性能的测量。加热阶段允许将样品加热到400℃，并进行NIOS中实现的所有类型的机械测试。保持给定温度的精确度为1℃。
测试结果(guo)包括在特定度下(xia)的硬度、弹性(xing)模(mo)量、蠕变恢复(fu)、抗裂(lie)性(xing)、耐磨性(xing)和(he)其他特性(xing)。
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