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同步源测系统RTM2-制样无需复杂光刻(样机可试用)
昊量光电技术全新推出的云同步源测软件RTM2。利用云同步源测系统RTM2的一体化电源开关行列式实现无限的精度和稳定性用于片状、霍尔和电阻张量的测量。
同步操作源测系統RTM2具有高精度的霍尔效应测量,不必光刻花纹图案,适用各种形状样品。测量电阻范围从Nano-Ohm 到Tera-Ohms,高达8位以上动态范围。
结合多工作旋转电源开关行列式设计,可用代锁相拖动器、源測量第一单元、罗马数字万用表和养成行列式旋转电源开关。
同步源测系统RTM2-制样无需复杂光刻主要功能:
同步操作源测整体RTM2专为自动精密测量电阻和相关量而设计。半导体技术性能指标探讨仪RTM2将交流电和交谈自动测量与集成开关矩阵结合在一起。
数据同步源测平台RTM2具有锁定放大器的低噪、具有万用表 8 位以上的动态范围和较好的稳定性,可研究 ppb 级效应。nΩ研究变得所未有的简单。
创新的连接器设计允许传统的 BNC 操作与被动屏蔽或主动防护屏蔽。这将直流阻抗上限扩展到了 Tera-Ohm 范围,并将交流带宽提高了约两个数量级,以测试MΩ元器。
导入源测系统性RTM2只需一台设备就能自动记录完整的热敏电阻张量(Rx、Ry、RH),即使是在无圆形图案的聚酰亚胺膜上。
云同步源测系统的RTM2可用于材料研究、薄膜表征以及传感器、晶片和设备测试。在快速多路复用设置中进行交流测试的能力,可在现场生产过程中实现更严格的元件分选。
发送到源测机系统RTM2转换开关行列式的特征:
万用表或锁相调小器等以往精密五金机 依赖关系于与被测机 (DUT)静态变量连到的四线电容在测量方法步骤。一些步骤无法减少地会遭遇来于被测机 和在测量方法机 本就的繁多串扰后果。
惠斯通电桥或平版彩印霍尔条花型等检测规划可以选择于提高任何扰乱的影响到,但植物的根都依赖关系于具体情况内阻器或蚀刻花型的精准度和增强的对称性性,这在实践活动中是是没办法实行的。
相比之下,矩阵开关可以在时域中分离干扰的影响。其中一个例子是van-der-Pauw范德堡方法,它可以精确区分纵向和横向电阻,即使是在没有光刻图案的不规则形状样品上也是如此。
另一个例子是某些直流仪表采用的 "自动归零(auto-zeroing)",以补偿偏移漂移。但这还不够。同样源测系统性RTM2的全矩阵切换功能及其与紧密多路交流测量的兼容性为我们带来了无限可能。
就可以对偏斜和增加收益漂移来补上,可以改变很大升级的增强性。在等你的 "很大升级 "是字义寓意:可改变的可靠性强,精密度都是 7、8 或 10 十五位数,反而您会等到的十五位数。在自身的实验操作室里来到检定圈层吧!
还可以对整个仪器的复合非线性进行补偿。这样就可以测试亚ppm 级的 I-V 非线性,从而在较低和较温和的电流密度下看到更高阶的传输物理。
同样源测系統RTM2出色优点
立于集成化开关按钮引流矩阵的可重新构建仪器结构
8 个用户组自判定网络端口(BNC 无线防水连接器),的功能(录入、内容输出和/或借鉴)可轻松自由判定
BNC 闭屏可配资为无源与地面或有源闭屏
用紧固拼接(开尔文或霍尔图形)展开经典的互动和直流电 4 线量测
跳变连入的沟通交流和直流电压精确估测(电阻功率功率张量精确估测、范-德-波精确估测或电阻功率功率率精确估测)
同样在线测量复合膜橫向和橫向内阻的准确绝对化值,不要光刻花纹
常见预估方式的软文预置,可其他手机用户某一的更改队列
立于 TCP 的微波通信,可快速模块化到任何场景中(如 Labview、C、Python)
同部源测设备RTM2其主要的优越:
可充当全部的用以电器机器设备因素精确测量的标淮机器设备(假如冻结扩大器、SMU、DMM)
使用集成化的矩阵计算按钮解决了动态 4 点检测的有限性性
供应范-德-波量测和功率电阻张量量测的镜头光晕值,并限制业主使用多方位运行环境
需不需要实现复杂性的样品英文提纯(如平版包装印刷)。
可不累接入多种与众不同与众不同的预估平台设计(如探头台、底温控温器、蒸空平台等)
大大节省估测时间间隔,不断提高样品英文周转量
同样源测软件系统RTM2主要是的选用行业
用料探讨与表现
混合物力学
半导体行业数学
永久磁铁元器件
刚性电子器材电子元件
自旋电子技术学
最新科技功效自动化建材和元器件封装
工业品产品研发和晶片/机测试软件
微光学设配
存贮器
单晶体管、场效应管
LED/OLED
太阳穴能充电
呈现器、TCO
调节器器
关联源测装置RTM2典型的测试测试样例:
在标准几何体形式(开尔文和霍尔格局)中确定非常低躁音、高比较稳确定聊天和电流 4 线量测
对不规责、无组成保护膜仿品开始范德保面板开关接入 4 线估测
基础知识机械学和压力容器检验学中的亚ppm 相变动和非线型检测的
零偏移霍尔 4 线测量(即使是非结构化样品,也能准确分离纵向电阻和横向电阻)
比例电阻值测量方法,削除供试品和机器漂移
高安装驱动谐波模糊衡量
激光脉冲和测试例程
此次源测系统软文RTM2软文工具栏:
同歩源测设计RTM2规格为参数表:
搜集源测机系统RTM2产品设备举手图:
装备面前板涵盖:1. 9个BNC网口号,用在二个模拟网模块:推动、感测、参考资料相位选择。2. LED显示灯,用在显示网口号模块:发送(小白方向上箭头)或内容输出(紫色方向上箭头)。3. 蒸发风流通道(切勿挡住)。4. 有助于过飞机安检和机架装的把小手。5. 19厘米机架装孔。
生产机里边板涉及到:6. 1个BNC网络端口,于多种大数字功能性:勾起、阈值法查验、PWM。7. 以太网连接方式器,于其主要的TCP网络通讯。8. 带稳定丝和旋钮的主供电插线口。9. 生产机问题显现。10. 散热风流出口处(严禁抵挡)。
同时进行源测系统软件RTM2高技术指标值:
电力工程标准
仿真模拟输出电压 | |
呈对称所在 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
输入输出环境噪声限度 | < -150 dBFS |
积分规则非曲线不确定度 | 5 ppm |
时间间隔判断率 | 2µs脉宽和容易弧形方式 |
旋钮引流矩阵 | |
分块矩阵高低 | 8插口x 4模似功能模块 |
大启闭概率 | 1 kHz |
电开关电阻功率 | 2.5 Ω, SNS: 5.0 Ω |
波动列抗阻 | 0.5 TΩ || 5 pF |
测试 | |
BJT发送(SNS+和SNS-的结合) | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET插入躁声(SNS+和SNS-的包覆) | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET输人额定负载 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
电阻器侧量噪音分贝低线 | 10 nΩ/√Hz(马上BJT进入) |
<1 nΩ/√Hz(电力变压器耦合电路的FET输人) | |
收获变动 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K(比列状态) | |
1 ppb(在有热可靠考虑的此例形式 ) | |
直流电源偏置额定电压发生变化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分经济模式) |
超范围 | |
并接热敏电阻 | 4, from 100 Ω to 20 MΩ |
模拟输出电流自动测量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
读取额定电压测试 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
感应电流精确测量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在范畴内的通常误差 | <1 ppm满示值,用以输送相电压和直流电 |
<0.1 ppm满量限,代替发送电流电压 | |
在一款时间的范围内的间断日常动态时间的范围 | > 8 digits |
相位和频次搜集 | |
传输网口 | 丝毫一些最前端BNC端口设置 |
输人网口 | 固定不变:其中自动化测试的BNC |
各式各样:和随便模似函数公式 | |
搜集区域 | 2 Hz到50 kHz,同一个相移 |
波形参数型号 | 打出:正弦函数波 |
手机输入:任何数字信号(锁死到主导型速率) |
阿拉伯数字I/O表层 | |
网络信号电平 | 单端3.3V cmos原理,正极闪避 |
带宽使用 | 10 MHz |
輸入函数值 | HI/LO,触发(解调或脉冲产生),pwm -模拟计数器,联锁 |
输送数学函数 | HI/LO,同步操作单激光脉冲(开使解调或单激光脉冲呈现),养成- pwm伤害,限位开关的指示 |
准确时间迟缓 | < 100 ns(到号码I/O性能) |
< 50 µs(虚拟仿真I/O能力) | |
输出精度电脉冲形壮 | 100µs HI脉宽,反之为LO |
设施配置/重新安装
长宽 | 194英寸机架组装系统,俩个程度行业,32分米深度. |
热效率要 | <75 W,公用AC220VAC填写,C14接入器 |
的操作比率 | 0°C - 50°C,无冷凝剂对环境湿度的 |
前面无线联接器 | BNC, 50 Ω型,隔离罩可修改为隔离罩或低盘 |
后台连入器 | BNC, 50 Ω型,手机屏蔽进行连接到机箱 |
通信设备网络端口 | 以太网 |
冷库安装小编 | 增压气体流动过去到后 |
前端部位LED警示灯 | 操作,通道选择,都是可调的和可分离的 |
同部源测控制系统RTM2货品申报单:
Tensormeter RTM2 19寸大机架安装设备
app软件包,还有LabVIEW和Python的加盟商端码样例(不能不驱动器子程序)
Tensormeter RTM2用户的指导意见,具有TCP系统命令、进行操作技术指标指导意见
带F型无线开关电源连接器的主开关电源缆线(会根据应该可以提供其它的类)
以太网缆线