纳米精度电动平移台。

纳米技术高精度(du)电动三轮旋转台。

纳米精度电动平移台。

自动操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)位(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)台也(ye)是(shi)指(zhi)自动操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)旋转变(bian)换台都是(shi)种(zhong)依托(tuo)步进驱程下(xia)载(zai)器减速(su)(su)机(ji)减速(su)(su)机(ji)操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)的下(xia)达操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)设计的，实现(xian)梯形丝(si)杆将(jiang)步进驱程下(xia)载(zai)器减速(su)(su)机(ji)减速(su)(su)机(ji)的角(jiao)位(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)改(gai)变(bian)为品台位(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)。通(tong)常情形下(xia)情形下(xia)该设计的由二(er)部(bu)(bu)分(fen)(fen)组名称(cheng)成(cheng)：位(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)台、减速(su)(su)机(ji)和操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)器。操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)减速(su)(su)机(ji)及操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)器大部(bu)(bu)分(fen)(fen)直(zhi)接决(jue)定操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)功率(lv)、分(fen)(fen)别率(lv)、加(jia)减速(su)(su)率(lv)、表现(xian)操(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)等效(xiao)果基(ji)本性能(neng)参(can)数。位(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)台则是(shi)设计的的心，大部(bu)(bu)分(fen)(fen)指(zhi)標(biao)基(ji)本性能(neng)参(can)数有很多移(yi)(yi)(yi)精确度(du)、行程安(an)排、电(dian)流、安(an)全稳定量(liang)分(fen)(fen)析(xi)、不适用周围环境等。

上海市昊量(liang)微电子(zi)机械非常有(you)限新(xin)公司退出(chu)的(de)电动(dong)(dong)三(san)轮轴(zhou)对(dui)称(cheng)台(tai)传送螺(luo)栓分(fen)为(wei)滚珠滚珠丝杆(gan)实(shi)现了(le)快速有(you)序(xu)健身(shen)足球运(yun)(yun)动(dong)(dong)，*的(de)螺(luo)栓品级使轴(zhou)对(dui)称(cheng)台(tai)收获(huo)的(de)判别率(lv)、分(fen)析精(jing)确(que)。分(fen)为(wei)混(hun)(hun)凝土泵(beng)送级别对(dui)称(cheng)滚珠导轨(gui)，具有(you)着(zhe)混(hun)(hun)凝土泵(beng)送的(de)健身(shen)足球运(yun)(yun)动(dong)(dong)特性。该模式(shi)分(fen)为(wei)光栅(zha)尺反馈保(bao)持保(bao)持，在切实(shi)保(bao)障大旅行线路的(de)同時(shi)，判别率(lv)达标了(le)1nm。按定位功能精(jing)度(du)等(deng)级区别，贵司移动(dong)(dong)台(tai)可涵盖(gai) 1nm高(gao)精(jing)确(que)位移台(tai)、5奈(nai)米精(jing)密(mi)度(du)和10奈(nai)米可靠(kao)(kao)性强，精(jing)密(mi)度(du)位移台(tai)、亚2um可靠(kao)(kao)性强，精(jing)密(mi)度(du)位移台(tai)。

1）1nm高精准度电气控制位移台。

该产品系列位(wei)移台可(ke)构成谐波齿(chi)圈5相步(bu)进(jin)能(neng)够器调(diao)速电(dian)机能(neng)够和(he)常见的(de)5相步(bu)进(jin)交流电(dian)动(dong)机操(cao)纵交流电(dian)动(dong)机2种型号的(de)移动(dong)台。用光栅尺(chi)地址反馈意见反馈操(cao)纵操(cao)纵使其区分率会(hui)达(da)到1奈米，多次(ci)重复位(wei)置定位(wei)gps精(jing)度会(hui)达(da)到±2nm，可(ke)作为(wei)20mm、40mm和(he)50mm这(zhei)三种有差异的(de)行(xing)程英文，并可(ke)不可(ke)以制造成多维电(dian)子控制系统软件(jian)(jian)移动(dong)系统软件(jian)(jian)。

2）5nm计(ji)算精度电气(qi)控制位(wei)移(yi)台

该系列好产(chan)品(pin)(pin)是款开发(fa)5納米固定要(yao)求(qiu)的(de)(de)(de)开环管控轴对称台，可出具(ju) 20mm、40mm、和50mm6个各(ge)不(bu)相同的(de)(de)(de)日程，基(ji)于采用(yong)了(le)光栅尺位(wei)置(zhi)产(chan)品(pin)(pin)定位(wei)打(da)码闭环设(she)定上报设(she)定，使其成为优秀团队的(de)(de)(de)辩认率、位(wei)置(zhi)产(chan)品(pin)(pin)定位(wei)高精准度及重(zhong)覆位(wei)置(zhi)产(chan)品(pin)(pin)定位(wei)精镀。

3）10nm控制精度自(zi)动控制位移(yi)台

该(gai)产品系列电控(kong)系统位移(yi)(yi)台(tai)是具有(you)10nm识别率的(de)前馈回馈产品跟踪定位化(hua)。其用(yong)光电技(ji)术线形位置上编码查询(xun)器(qi)，在带来大日程的(de)同时，使仪器(qi)都有(you)较高(gao)的(de)导致(zhi)精(jing)度。该(gai)系列评(ping)议(yi)台(tai)可带来20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等各种不同里程的(de)电控(kong)系统位移(yi)(yi)台(tai)。

4）亚纳米识别率电机控制系统位移台

该系例位(wei)移服务平(ping)台(tai)通常是指甄别率高达到(dao)亚微米换算要求(qiu)的(de)精密(mi)五(wu)金运(yun)功模式。该模式也是光(guang)电器件代(dai)码(ma)反馈(kui)把握把握，要求(qiu)高达到(dao)50-100nm，可能(neng)(neng)提供(gong)20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等区别路程的(de)电气控制位(wei)移台(tai)，并能(neng)(neng)够不同需求(qiu)分(fen)析分(fen)解成二维(wei)电气控制旋转(zhuan)台(tai)。

此外该系列平移台提供在真空条件下的同规格的电控平移台，可承受的真空度可达到10^-4Pa，相当于10^-6 torr的真空度。

• 首要性能

• 好的成绩(ji)辨(bian)率
• 高从复准确定位精密度(du)较
• 主要包括滚(gun)珠丝杆螺母，变(bian)现(xian)高控制精(jing)度定位手机
• 采用(yong)了高(gao)的(de)级交叉性滚(gun)珠导(dao)轨，具较高(gao)健身运动(dong)特(te)点
• 可供(gong)应重(zhong)(zhong)力作用(yong)同(tong)技术参数的重(zhong)(zhong)力作用(yong)版本信息(xi)平行台

• 常见操(cao)作

超(chao)细密二氧化碳激光切割处理(li)、超(chao)细密三(san)维空间扫描机(ji)(ji)校正、全自(zi)主量值(zhi)溯源实验室机(ji)(ji)器设(she)备(bei)检侧机(ji)(ji)器设(she)备(bei)、工(gong)业制造自(zi)主化等领域。

• 一(yi)般性能：

亚(ya)2um要求电机控制位移台技术指标(biao)：