点衍射干涉仪的精度检验方法

点衍射约束仪的可靠性强，精密度质量检验的方式

点衍射约束仪（Point Diffraction Interferometer，PDI）是个种应使用衍射约束作用的光电技术估测环保设备。它充分利用机光束的小圆孔后行成说出期望的点泛光灯对刚体外层开始估测，不错完成对刚体图案、外层凹凸不平度、突显出岁月率等基本参数的高表面粗糙度估测。点衍射约束仪不必须要标准化参阅件，不错使用较高表面粗糙度面型的检则，是个种是非常至关重要的高表面粗糙度估测检测仪器器。

1.1测(ce)验激(ji)光(guang)切割(ge)机的(de)光(guang)路

测试图片装置其主要由D7点衍射干预仪主机系统，准直器，5mm孔径铝镜，光纤激光切割机的的平台等带来。

1.2 检测周围环境

高温： 21℃±1℃；温度湿度： 30%-70%

1.3 绝 对精密度检查（Accuracy）

 绝 对精准度的监测按照波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的计算的方法，WRMSD是干涉现象仪安稳性和检测的很好的性的须严格标准的。它判定为因此检测的波前文化差异的均方差以及2X均方差的检测的集，并判定为因此检测的波前的大概值的终合分类。

测试方法方法：1） 测试图片区域从0°开始了绕光轴以45°步长拖动8次完成精确预估。拖动是重要的，以清除精确预估体系设有促使的任何拖动不符称像差。

2） 测(ce)试图片环(huan)节从(cong)22.5°开端绕光轴以45°步长高(gao)速旋转(zhuan)8次展开检(jian)测(ce)。

3） 在并没有圆滑的的情况下工作打搅图后，从0°逐渐的6个波不断前完成均匀计算出来方法，能够均匀波前WF0AVG_0，进而从22.5°逐渐的6个波前也完成均匀计算出来方法，能够均匀波前WF0AVG_225。

4） 统计WF0AVG_0和WF0AVG_225的对比分析，的绝 对要求。

西安昊量光(guang)学(xue)环(huan)保设备局限(xian)厂家(jia)销量的点衍射打搅仪，型(xing)号D7在客(ke)户现(xian)场进(jin)行(xing)了(le)干涉仪(yi)精度的检(jian)测，实验测得(de)该干涉仪(yi)的精度为0.707nm RMS 。

图1 相对精确度(du)检查(cha)效果

1.4 连续精密度检验（Repeatability）

从复精密度较的查重运用波前均方根差（wavefront RMS differential ，WRMSD）的换算方式 。对给出图2的波一往无前行从复性估测，总计下来估测30组，每组估测5次。难以确定1,3,5,7…29奇数组的动态信息实施均衡，获得均衡波前WF0AVG_29，难以确定2,4,6,8…30偶数组的动态信息实施均衡，获得均衡波前WF0AVG_30。换算WF0AVG_0和WF0AVG_225的不同，获得从复精密度较。

济(ji)南昊量光电品牌(pai)仪器(qi)局限品牌(pai)业(ye)务(wu)员的爱沙尼亚(ya)Difrotec品牌(pai)的点衍射打搅仪的重(zhong)复(fu)(fu)精(jing)度，经过测量计算，重(zhong)复(fu)(fu)精(jing)度为：0.25nm RMS(λ/2500)，如下(xia)图3。

图2 铝(lv)镜面玻璃型3D图

图(tu)3 按顺(shun)序计算精度判断但是(shi)

1.5 涉及仪平台性能

D7：点衍射打搅仪冷水机；DA1：150mm/230mm准直器

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